Здавалка
Главная | Обратная связь

Методика определения содержания фосфора в плёнках ФСС



В патенте [8] предложено определять процентное содержание фосфора в плёнке ФСС по соотношению интенсивностей пиков поглощения ИК-излучения молекулярными связями Р = О и Si – O в структуре фосфорно-силикатного стекла (рис. 5). На рисунке представлены спектр поглощения плёнки ФСС (сплошная кривая) в интервале (600 – 1800) см-1 и её вторая производная (пунктирная кривая). Полоса А соответствует связи Si – O на частоте 818 см-1, полоса В – связи Si – O на частоте 1080 см-1, полоса С – связи Р = О на частоте 1316 см-1. Интенсивности пиков определяются по графику второй производной. Для определения процентного содержания фосфора предложено регрессионное уравнение, коэффициенты которого находятся по специально построенным калибровочным кривым, однако сами калибровочные кривые в патенте не представлены. В связи с этим практическое использование пред

 
 

ложенной методики представляется затруднительным.

В соответствии с [4] расчёт процентного содержания фосфора в плёнке ФСС производится путём сравнения площадей под полосой поглощения Р = О (1316 см-1) и самой сильной полосой поглощения связи Si – O (1090 см-1).

Описание установки

Общая характеристика фурье-спектрометра ФСМ 1201П.

Фурье-спектрометр предназначен для неразрушающего измерения и контроля следующих параметров пластин и структур из монокристаллического кремния:

- концентрация примеси кислорода междуузельного;

- концентрация примеси углерода замещения;

- толщина эпитаксиальных слоев структур типа n-n+ и p-p+

- концентрация фосфора в ФСС, бора и фосфора в БФСС.

Фурье-спектрометр позволяет проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150, и 200 мм, размещаемых на измерительном столе, в соответствии с программой, заданной оператором. Время стандартного измерения в одной точке не более 60 с.

Источник ИК излучения – нихром-керамика, температура излучения 1200-1250°С. Спектральный диапазон от 400 до 5000 см-1. Приемник излучения – пироэлектрический, танталат лития. Питание прибора 220 В, 50 Гц. Потребляемая мощность (без ПК) – 150 Вт.

Система данных, реализованная на базе IBM совместимого персонального компьютера (ПК), обеспечивает тестирование, автоматическое управление всеми системами спектрометра, включая измерительный стол, оптимизацию режимов измерения, математическую обработку спектральных данных, работу с библиотекой спектров, графическое представление спектров на дисплее и получение твердой копии результатов тестирования на принтере. Обеспечивается автоматическое измерение пластины с представлением протокола и занесением результатов измерения в базу данных.







©2015 arhivinfo.ru Все права принадлежат авторам размещенных материалов.