Здавалка
Главная | Обратная связь

Проверил: Румянцев В.П.

Кафедра № 37

Структура комплекса работ проекта

«Разработка и изготовление системы сканирования, оснащенной 3-х координатным лазерным гетеродинным интерферометром, для определения функции поверхности наконечников нанотвердомеров AgilentNanoIndenter G200 и Hysitron TI 750UbiT»

Выполнила: студентка группы Т9-37

Леонова Т.В.

Проверил: Румянцев В.П.

Москва 2013 г.
Введение

В мировом научно-техническом сообществе, использующем сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ), проблема измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне связана со сложными и зачастую неоднозначными соотношениями между объектом измерений и результатом его измерения в СЗМ. Регистрируемое в них изображение не всегда адекватно реальному профилю измеряемого элемента рельефа поверхности объекта. Это приводит к необходимости независимого измерения перемещения и взаимного расположения измерительного зонда и объекта, а также требует фиксации положения объекта с погрешностью ~ 0,1 нм. Для этого необходимо создание суперпрецизионных систем нанопозиционирования как зонда, так и объекта и разработка высокоточных средств измерений их линейно-угловых перемещений в реальном масштабе времени с погрешностью менее 1 нм. Решением проблемы сталооснащение(СЗМ) оптическим каналом для измерения абсолютных геометрических координат. Конкретно было предложено использовать многоканальный лазерный интерферометр для измерения перемещений сканера по всем трём декартовым осям.

Целью планируемого проекта является создание лазерного интерферометра, предназначенного для использования с серийно выпускаемыми зондовыми микроскопами. Интерферометр будет представлять собой встраиваемую систему, что существенно расширит возможности его использования предприятиями, лабораториями и научно-исследовательскими институтами, желающими иметь метрологическую базу своих измерений, но не готовыми создавать для этих целей отдельную дорогостоящую и сложную систему. На основе данной системы будут создаваться как государственные стандарты длин нанометрового диапазона, так и установки для контроля за качеством продукции наноиндустрии.

Кроме того, разрабатываемый в рамках пректа интерферометр будет превосходить по точности, используемые в настоящее время в зондовых микроскопах емкостные датчики в несколько раз, что позволит повысить качество получаемых данных и информативность проводимых экспериментов.

Технически, создание подобной системы далеко не тривиально. Конструкции большинства современных СЗМ не предусматривают оптического доступа к сканеру микроскопа, и интеграция имеющегося СЗМ с интерферометром требует очень большого объема разработок – практически создания нового прибора. Цена такой разработки составляет, как правило, не один миллион долларов, и приборов таких в мире единицы. В России подобных систем в настоящее время нет, что приводит к необходимости привязки всех проводимых на зондовых микроскопах измерений к иностранным стандартам.

Задача разбита на несколько составных частей:

· Анализ рабочей области приборов, в которые предстоит встраивать интерферометр для определения геометрических размеров трехкоординатного гетеродинного интерферометра (ТГИ).

· Разработка оптической схемы ТГИ.

· Сборка оптической схемы.

· Разработка схемы ввода излучения в волокно.

· Сборка схемы ввода.

· Получение необходимой мощности сигнала на выходе из волокна.

· Ввод излучения в оптическую схему и ее юстировка.

· Установка ТГИ на соответствующий нанотвердомер.

· Юстировка ТГИ.

Часть работ должны выполняться параллельно, это может значительно ускорить процесс выполнения проекта.

Структура комплекса работ проекта.

Название работы № предшествующей № последующей t
Анализ рабочей области приборов, в которые предстоит встраивать интерферометр для определения геометрических размеров трехкоординатного гетеродинного интерферометра (ТГИ).
Разработка схемы ввода излучения в волокно.
Разработка оптической схемы ТГИ.
Сборка схемы ввода
Сборка оптической схемы.
Получение необходимой мощности сигнала на выходе из волокна (юстировка).
Ввод излучения в оптическую схему и ее юстировка. 5,6
Установка ТГИ на соответствующий нанотвердомер.
Юстировка ТГИ.

 

 

       
   
 
 

 

 


i j tрн tij tро tпн tij tпо Rполн





©2015 arhivinfo.ru Все права принадлежат авторам размещенных материалов.