Главная | Обратная связь

Фотошаблони. Способи отримання фотошаблонів. Переваги та недоліки цих способів.

 

Фотошаблон – це плоска прозора пластина, на поверхню якої з одного боку наносяться тонкі непрозорі ділянки.

В залежності від матеріалу непрозорої ділянки, фотошаблони діляться на:

1) Емульсійні – рисунок створюється у шарі емульсії фотолітографічним методом. Недолік – швидке зношення. Переваги – прості.

 

2) Металізовані – рисунок створюється на плівці хрому фотолітографією, так як хром має дуже високу адгезію, та повільно витирається і відшаровується. Але дуже блискуча поверхня сильно відбиває світло, що підвищує вплив паразитних оптичних процесів. Відбивається до 80%. Крім того, хром не пропускає світло крізь себе, що заважає контролю якості процесу.

3) Кольорові (транспарентні) – фотошаблони на основі оксидів заліза, таких як FeO_x, мають різний колір в залежності від Х та товщини плівки окислу. FeO_x має меншу адгезію, але значно слабше відбиває світло. Крім того, FeO_x може пропускати звичайне світло, та поглинати актинічне.

Фотошаблони можуть бути позитивними та негативними.

Вимого до фотошаблонів:

1. Висока точність розмірів

2. Стабільність рисунку

3. Стійкість до витирання

4. Площинність

5. Суміщеність комплекту фотошаблонів

 

Способи виготовлення фотошаблонів

Існує три способи виготовлення, вони характеризуються послідовністю операцій та відповідним обладнанням.

 

І спосіб

 

a) Виготовлення збільшеного оригіналу на координатографі – спеціальному пристрої для креслення чи вирізання на плівці топології фотошаблону.

б) Виготовлення проміжного оригіналу – отриманий після першої операції рисунок зменшують у редукційній камері у 10..100 разів.

в) Виготовлення еталонного фотошаблону – проводиться остаточне зменшення і розмноження рисунку.

г) Виготовлення робочої копії фотошаблону – операція складається з контактного передрукування фотошаблону з еталонного методом фотолітографії.

 

ІІ спосіб

 

а) Виготовлення проміжного оригіналу – здійснюється на спеціальному обладнанні, де безпосередньо виготовляється проміжний оригінал у масштабі 1:10. На генераторі зображень реалізується один з принципів:

- Мікрофотонабір – рисунок набирається з окремих геометричних елементів

- Фотомонтаж – рисунок компонується з бібліотеки окремих зображень (топології резисторів, транзисторів, діодів)

- Лазерне рисування – в систему, що керує лазером подається інформація про топологію. Лазер керується за допомогою ПК і одразу викреслює топологію на загальному рисунку.

б) Виготовлення еталонного фотошаблону

в) Виготовлення робочої копії

ІІІ спосіб

 

а) Виготовлення еталонного фотошаблону

б) Виготовлення робочої копії